離子濺射儀噴金儀
18520549806
原裝全新進(jìn)口
基本信息
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離子濺射儀噴金儀
詳細(xì)信息 儀器多機(jī)尺寸：長610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸：：金篇腔體：直徑260mmX高270mm(外尺寸） 直徑210mmX高270mm(內(nèi)尺寸) 靶材尺寸：室徑50mmX罩3mm(圖契材材質(zhì)不司星度有所不司） 靶材料：標(biāo)配一雜直徑50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金屬膜） 靶槍冷卻方式：水冷 真空系統(tǒng)：抗沖擊渦輪分子泵，抽速為300L/s 前級機(jī)械泵：抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測量：采用復(fù)合真空計些測真空 極限真空度：5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源：官流恒流電源： 翰入克壓：220W 輸出電壓：0-600r可話 輸出電流（沉積電流）：0-1.6A可調(diào) 教樣臺：旋裝臺（直徑尺寸用戶可選，最大不能超過中150mm) 工作氣體：Ar箋管性氣體（警自備氣瓶及減壓閥） 氣路：誰射喜空度手動道整 沉積速寶：0-200nm 水冷：自循環(huán)冷卻水機(jī) 電源電壓：220V50Hz 啟動功室：3KW 保修：貳年 儀器多機(jī)尺寸：長610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔體總高490mm) 工作腔室尺寸：：金篇腔體：直徑260mmX高270mm(外尺寸） 直徑210mmX高270mm(內(nèi)尺寸) 靶材尺寸：室徑50mmX罩3mm(圖契材材質(zhì)不司星度有所不司） 靶材料：標(biāo)配一雜直徑50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金屬膜） 靶槍冷卻方式：水冷 真空系統(tǒng)：抗沖擊渦輪分子泵，抽速為300L/s 前級機(jī)械泵：抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器 真空測量：采用復(fù)合真空計些測真空 極限真空度：5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa) 電源：官流恒流電源： 翰入克壓：220W 輸出電壓：0-600r可話 輸出電流（沉積電流）：0-1.6A可調(diào) 教樣臺：旋裝臺（直徑尺寸用戶可選，最大不能超過中150mm) 工作氣體：Ar箋管性氣體（警自備氣瓶及減壓閥） 氣路：誰射喜空度手動道整 沉積速寶：0-200nm 水冷：自循環(huán)冷卻水機(jī) 電源電壓：220V50Hz 啟動功室：3KW 保修：貳年 共0條 相關(guān)評論 |
