外形尺寸

424*265*260MM

輸入電壓

220V/50Hz

濺射電壓

600V

工作原理

磁控濺射

最大功率

4507

靶材尺寸

057*0.12MM (AU)

可選靶材

金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬靶材

真空泵

直連式兩級(jí)旋片式真空泵1心/S

真空室

0128*130MM高強(qiáng)度玻璃

極限真空

1PA(電阻式真空規(guī))

抽氣節(jié)拍

≤90S

樣品杯

00樣品杯1個(gè)/025樣品杯4個(gè)/15樣品杯6個(gè)

樣品室進(jìn)氣

自動(dòng)：高精度微量進(jìn)氣閥

進(jìn)氣接頭

O4快擰接頭（外徑4M,內(nèi)徑2.5MM氣管)

江作電流

5-45MA任意可調(diào)

顆粒大小

6-10NM

保護(hù)功能

過流保護(hù)、真空保護(hù)